Кафедра физических основ микроэлектроники была создана в 1984 году на физическом факультете. Она являлась базовой (выпускающей) по подготовке специалистов с высшим образованием по специальности 200300 – Микроэлектроника и полупроводниковые приборы с квалификацией «Инженер – физик». В 1990 г. на базе этой кафедры, ее филиала на ПО «Элькор» и научно – исследовательской лаборатории по физике поверхности, было создано отделение микроэлектроники на правах факультета, преобразованное в 1999 году в факультет микроэлектроники и компьютерных технологий (МЭ и КТ).

В 2003 году, после открытия на факультете специальности «Нанотехнология в электронике», кафедра физических основ микроэлектроники была переименована в кафедру физических основ микро- и наноэлектроники.